4-inch gallium oxide substrate
100面
Manufacturer：杭州富加镓业科技有限公司
Sales Personnel：郭晓梦
Phone：13164023887
E-Mail：gxm@wonder-sino.com
晶圆产品参数
掺杂：Sn
导电性：n
晶面：(100)
双晶摇摆半高宽：≤250”
载流子浓度：≥1×1018 cm-3
位错密度：<1×105 cm-2
目前参考尺寸：4 inch
参考边：[010]方向
加工指标：晶面偏差：<±1°；直径：100.0 mm±0.5 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.02 mm；双面抛光，Ra<1 nm
产品外形示意图
