近日，位于杭州富春湾新城的杭州富加镓业科技有限公司首次成功制备出12英寸氧化镓单晶，这一成果刷新了全球氧化镓单晶尺寸的最高纪录，也将为新能源汽车、新型储能、智能电网、数据中心等前沿技术领域的产业化进程提速。
在杭州富加镓业科技有限公司的晶体生长车间内，可以看到，12英寸的氧化镓单晶通体黝黑，呈圆锥状，底部直径达到305毫米。
富加镓业12英寸氧化镓单晶（直径305mm）
杭州富加镓业科技有限公司
副总经理 黄浩天
目前国际上氧化镓衬底最大尺寸为8英寸，本次成功研制的12英寸氧化镓单晶属国际首次，这一突破为我国氧化镓产业化奠定了关键技术布局。未来氧化镓实现产业化后，12英寸规格可高度兼容现有12英寸硅基生产线，能够大幅降低产品生产成本。
氧化镓是一种新一代超宽禁带半导体材料，它所制备的功率电子器件，以其出色的电压和电流承受能力，以及低导通损耗的特性，预示着广阔的产业发展前景。目前在全球范围内，这一领域已成为各方竞相布局的战略要地。然而长期以来，受自身物理特性限制，氧化镓单晶在向大尺寸延伸时极易出现杂晶、开裂等问题，因此从8英寸到12英寸，并非简单的尺寸放大，而是一次产业层面的战略性飞跃。
黄浩天表示，氧化镓为单斜晶体结构，各向异性极强，晶体生长过程中，微小扰动就会导致结晶困难、产生杂晶，且晶体尺寸越大，生长控制难度越高。为此，公司在设计阶段采用数值模拟技术，精准匹配氧化镓晶体生长规律；同时研发了自主可控的生长装备，对炉内工艺参数与运动状态实现高精度调控。
杭州富加镓业科技有限公司成立于2019年，是一家从事氧化镓单晶材料衬底及外延片研发、生产和销售的国家高新技术企业。
多年来，该企业持续攻克技术难题，推动氧化镓产业化进程。2026年1月，企业打造的国内首条6英寸氧化镓单晶及外延片生长线已经正式完成竣工环境保护验收，这标志着企业万片级6/8英寸氧化镓产线已完全具备规模化生产的环保资质，正式迈入量产新阶段。
黄浩天 接下来，公司将以6英寸、8英寸氧化镓衬底的规模化量产为目标，计划在年底建成年产10000片6英寸的生产线。
国家“十五五”规划纲要明确提出，要“推动氧化镓、金刚石等超宽禁带半导体产业化发展”，杭州富加镓业科技有限公司此次12英寸氧化镓单晶制备技术的突破，正是紧跟国家战略部署，为我国发展新质生产力、抢占未来产业竞争制高点提供了坚实的材料基础支撑，也为全球半导体产业发展注入了强劲的中国动力。
下一步，该企业将携手下游客户一起开展“衬底—外延—器件—模组”全链条协同攻关，助力我国高性能氧化镓功率器件的全产业链贯通，加速氧化镓高压大功率电力电子器件产业的快速落地，早日实现“让世界用上好材料”的愿景。
来源：富阳发布